藍寶石長晶爐熱場

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現在位置:首頁 >> 產品應用 >> 藍寶石長晶爐熱場 (點擊小圖看大圖)

藍寶石(Sapphire)是一種氧化鋁(Al2O3)的單晶,光學穿透帶很寬,從近紫外光(190nm)到中紅外線都具
有很好的透光性。藍寶石晶體具有優異的光學性能、機械性能和化學穩定性,強度高、硬度大、耐腐蝕,可在接近2000℃高溫的惡劣條件下工作,因而被廣泛的應用于紅外軍事裝置、衛星空間技術、高強度激光的窗口材料。其獨特的晶格結構、優異的力學性能、良好的熱學性能使藍寶石晶體成為實際應用的半導體GaN/Al2O3發光二極管(LED),大規模集成電路SOI和SOS及超導納米結構薄膜等最為理想的襯底材料。隨著近年來LED TV、LED Monitor、LED NB、LED Phone及LED照明市場的持續高速增長,強勁推動了用于制作LED基材的藍寶石市場的需求擴張。

優點

  • 藍寶石襯底的生產技術成熟、器件質量較好
  • 藍寶石的穩定性很好,能夠運用在高溫生長過程中
  • 藍寶石的機械強度高,易于處理和清洗

 

常用晶體生長方法:

  • Czochralski Method (柴氏拉晶法,又稱為提拉法):Pull from the melt.
  • Kyropoulos Method (凱氏長晶法,又稱為泡生法): Dip and turn.
  • 溫度梯度法(TGT法)
  • EFG Method (導模法,Edge Defined Film-fed Growth): Pull through die.
  • 熱交換法(Heat Exchange Method,HEM)
  • 垂直水平溫度梯度冷卻法(Vertical Horiaontal Gradient Freezing,VHGF): 韓國Sapphire Technology Company (STC)技術。
  • ES2-GSA長晶法:美國Rubicon Technology Inc.技術。

由于鎢鉬具有耐高溫、低污染等特性,被廣泛用來做藍寶石長晶爐的熱場部件,包括鎢坩堝/鉬坩堝、發熱體、鎢筒、隔熱屏、支撐、底座、籽晶桿、坩堝蓋等。發熱體采用鳥籠結構鎢發熱體或者鎢網發熱體,有利于提供均勻穩定的溫場。

ATTL為客戶提供優質的30Kg、60Kg、85Kg、120Kg全套藍寶石長晶爐熱場及熱場中的鎢鉬部件。

 

HEM長晶爐用旋壓鉬坩堝

藍寶石長晶爐用鎢坩堝


藍寶石長晶爐用鎢發熱體

藍寶石長晶爐用隔熱屏


藍寶石長晶爐用鎢發熱體

藍寶石長晶爐用鎢筒和鎢坩堝


藍寶石長晶爐用鎢隔熱屏

藍寶石長晶爐用底座


藍寶石長晶爐用鎢坩堝

藍寶石長晶爐用電極屏


藍寶石長晶爐用鎢筒

藍寶石長晶爐用坩堝蓋


藍寶石長晶爐用上下蓋屏

藍寶石長晶爐用底座


藍寶石長晶爐用鎢托盤

藍寶石長晶爐用電極屏


藍寶石長晶爐用鎢支柱

藍寶石長晶爐用坩堝蓋


藍寶石長晶爐用籽晶桿

藍寶石長晶爐用籽晶桿


藍寶石長晶爐用電極屏

藍寶石長晶爐用電極屏


長晶爐用坩堝蓋 底座

長晶爐用坩堝蓋 底座



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